Fecl3浓度对蚀刻的影响如图5一12所示。
(2)盐酸的添加量对蚀刻速度的影响：在蚀刻液中加入盐酸，一则可以抑制Fecl3和
cucl，的水解；二则可提高蚀刻速度。特别足当蚀刻液巾铡禽量达到37．4∥J．后+赫酸的作用更加明显。但这应根据不同的抗蚀层材料选择合适的酸度，如果抗蚀层选用骨胶、明胶、聚乙烯醇等光致抗蚀剂，则不能选用太高的酸度，否则，抗蚀层易于被破坏。对于感光树脂抗蚀剂及丝网日J刷抗蚀层，则可以选择较高的酸度。
(3)温度对蚀刻速度的影响：在hcl，蚀刻工艺中，随温度的增加，蚀刻速度亦加快，比如当温度在50℃时，全新蚀刻液对铜的蚀刻速度叮达10“nI／n-访：似在实际爿：产中，都是采用常温蚀刻方法。Fecl，对铜的蚀刻是一个放热反应，随着蚀划的进行，蚀刻液温度会逐渐升高，蚀著4速凄加快。随着FecL3的消耗，蚀刻速度也会下降。同时这一温升过程也比较缓慢，所以在整个蚀刻过程中蚀刻速度变化不大。
(4)搅拌对蚀刻速度的影响：静止蚀刻的速度和蚀刻质量都是比较差的。这是风为在蚀刻过程中．一方面被蚀刻铜袁面和蚀刻液中都会有沉涟生成，影响了铜的正常蚀刻：另一方面，铜在蚀刻过程中，被蚀刻表面的溶液会逐渐呈现暗绿色，这表明在设蚀刻表面的Fec】，已跟铜发生了氧化还原反应而失去r氧化能力。如但靠蚀刻液叶J n”的自身运动无法对被蚀刻表面的及时补充，而使蚀刻速度变慢。这就是所说的浓差极化，即n“的运动速度跟不上Fe“被消耗的速度。
如果对蚀刻液进行搅拌或采用喷淋等蚀刻方法，则可以加快Fe“的运动速度，使被蚀刻表面的Fe”能迅速得到补充，则能使蚀刻速度加快。如粜采用压缩空气搅拌不但能提高蚀刻速度进町以使蚀剡液得到再生，延长蚀刻液的使用寿命。但是，需适当补充盐酸
